凯德石英获得一种保温桶专利进步保温桶的承重才能
日期:2024-12-26 阅读:1次 作者: 乐鱼买球官网
金融界2024年11月22日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京凯德石英股份有限公司获得一项名为“种保温桶”的专利,授权公告号CN 222027425 U,请求日期为2024年4月。
专利摘要显现,本请求触及半导体加工技术领域,尤其是触及一种保温桶,包含底座以及若干个固定衔接于底座的支撑柱,所述底座包含固定套设于支撑柱下部的底板以及固定套设于支撑柱的阻流板,阻流板坐落底板的上方,支撑柱的上部用于装置硅片载体。底座包含底板和阻流板,使得底座构成双层板结构,增加了底座全体厚度尺度,一方面,增大了底座和立式炉内基座的触摸面积,进步保温桶的结构稳定性,另一方面,支撑柱固定穿设于底板和阻流板,进步支撑柱的抗歪斜功能,来进步支撑柱的结构稳定性,从而进步该保温桶的可以承当分量的才能,以满意对大体积硅片载体的承载作业。
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